平行平晶規(guī)格

日期：2025-04-18 08:02

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摘要：

平行平晶規(guī)格
平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平行平晶用于測量高光潔表面的平面度誤差，為用平面平晶檢驗(yàn)量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學(xué)測量平面是相互平行的，用于測量兩高光潔表面的平行度誤差，例如千分尺兩測量面的平行度誤差.平晶用光學(xué)玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45～150毫米。其光學(xué)測量平面的平面度誤差為:1級精度的為0.03～0.05微米；2級精度的為0.1微米。常見的長方形平面平晶的有效長度一般為200毫米。

1、平面平晶 YDF-1 標(biāo)準(zhǔn)外形尺寸單位：mm

規(guī)格30 45 60 80 100 150 200 250

直徑30 45 60 80 100 150 200 250

高度15 15 20 20 25 30 40 45 平晶

特殊規(guī)格尺寸平面平晶,環(huán)形平面平晶,方形平面平晶可定做.

2、平面平晶制成兩種精度： 1級和 2級

3、平面平晶工作面的平面度偏差允許值為：

直徑為 30至60mm 1級平晶 0.03μm

直徑為 30至60mm 2級平晶 0.1 μm

直徑為 80至150mm 1級平晶 0.05μm

直徑為 80至150mm 2級平晶 0.1 μm

更大尺寸平面平晶平面度偏差允許值，根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)。

4、平面平晶工作面的局部偏差允許值為： 0.03μm

5、平面平晶測量工作應(yīng)在室溫2 0℃±3℃條件下保持?jǐn)?shù)小時后進(jìn)行。

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